氩气设备，高纯氩气设备，深冷空分氩气设备

氩气设备技术指标：

氩气气产量：1-30000Nm3/h        氩气气纯度：99.999%

氩气气压力：0.3Mpa （可调）   氩气露点：-76℃

是否有现货：否               认证：ISO9001、CE、RoHS

加工定制：是               类型：氩气发生器

提取气体类型：氩气、液氩   

应用领域：半导体、工业、高纯硅、锗晶体、充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；钛、钴、冶金

1、本装置为分子筛净化空气的双透平膨胀机流程，采用膨胀双塔制氧、制氩工艺。

2、原料空气在自洁式过滤器中除去了灰尘和机械杂质后，进入空气压缩机，压缩到约～1.0MPa。压缩空气进入预冷机组，冷却至5-8℃左右，并达到饱和状态；饱和的压缩空气进入交替使用的分子筛吸附器，在那里原料空气中的水分、CO2、C2H2等碳氢化合物被分子筛吸附；

3、净化后的加工空气，被分为三股：一小部分被抽出作为仪表空气；一部分空气进入主换热器，被膨胀后的污氮冷却至饱和温度并有一定含湿量，被冷却后的空气进入下塔底部参与精馏，在下塔底部抽取富氧液空过冷后到上塔中上段作为补充喷淋液，这样在上塔顶部获得产品氮气和液氮，在上塔底部的获得液氧；一部分空气进入油轴承膨胀机增压端增压后，经过后部冷却器、冷冻机冷却后进入主换热器换热后，换热后进入膨胀机进行膨胀制冷，再回到换热器进行冷量回收，恢复到常温后排空；在上塔靠近顶部位置抽取污氮气并进入副换热器冷端，复热至115K时抽出，进入气体透平膨胀机膨胀制冷。膨胀后的污氮气进入主换热器，复热为常温后排出冷箱；一部分作为分子筛吸附器的再生用气，其余部分放空。

4、液氧从上塔底部抽出节流到需要的压力后排出冷箱灌入贮槽。

5、粗氩从上塔中抽取，经压缩及除氧后进入氩塔精馏，液氩从底部作为产品输出。

                                    浙江瑞德空分设备技术部