实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。电动物镜转换器切换倍率和观察方法 配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。 |
LSM部分 | 光源、检出系统 |
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光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管 |
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总倍率 |
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108~17,280X |
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变焦 |
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光学变焦:1~8X |
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测量 | 平面测量 | 重复性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm |
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正确性 | 测量值的±2%以内 |
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高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 |
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行程 | 10mm |
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内置比例尺 | 0.8nm |
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移动分辨率 | 10nm |
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显示分辨率 | 1nm |
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重复性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm |
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正确性 | 0.2+L/100 μm以下(L=测量长度) |
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彩色观察部分 | 光源、检出系统 |
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光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD |
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变焦 |
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码变焦:1~8X |
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物镜转换器 |
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6孔电动物镜转换器 |
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微分干涉单元 |
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微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元 |
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物镜 |
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明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X |
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Z对焦部分行程 |
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76 mm |
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XY载物台 |
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100 x 100 mm(电动载物台) |
SPM部分 | 运行模式 |
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接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* |
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位移检出系统 |
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光杠杆法 |
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光源 |
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659 nm半导体激光 |
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检出设备 |
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光电检测器 |
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z大扫描范围 |
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X-Y:z大 30 μm x 30 μm、Z:z大 4.6 μm |
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安装微悬臂 |
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在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。 |
系统 | 总重量 |
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约440 kg(不包含电脑桌) |
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I额定输入 |
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100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |
*该功能为选项功能。