探针式台阶仪产品介绍

KLA P-7探针式台阶仪是KLA公司的探针式台阶仪系统。KLA P-7探针式表面轮廓仪建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了性价比。KLA P-7探针式台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
从可靠性表现来看，KLA P-7探针式台阶仪具有良好测量重复性的性能。UltraLite传感器具有动态力控制，良好的线性，和良好的垂直分辨率等特性。友好的用户界面和自动化测量可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。
产品特点：
台阶高度：几纳米至1000μm.平整的扫描平台
微力恒力控制：0.03至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接
视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正：清空由于探针的弧形运动引起的误差
生产能力：通过测序，模式识别和SECS/GEM实现全自动化
测量原理：
KLA P-7探针式台阶仪采用了LVDC传感器技术，LVDC传感器利用电容的变化跟踪表面地形。电容变化是由在两个电容板之间移动的薄金属传感器叶片的运动引起的。在探针跟踪表面时，传感器叶片的位置会发生变化，从而导致电容的变化，然后将电容变化转换为地形信号。LVDC设计的优点是质量小，叶片线性运动，从而将滞后和摩擦降到很低。这种设计能够在整个垂直范围内进行精确、稳定和高分辨率的测量。
探针式台阶仪
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