白光干涉3D形貌测量仪

白光干涉3D形貌测量仪基于白光干涉仪原理、结合Z向精密压电扫描模块和三维重建算法准确获得各种精密器件和材料表面形貌数据，适用于反射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多种表面测量求，能够实现纳米级精度测量、重构表面形貌3D轮廓。  

技术参数  

型号：PZ-MicoD  

测试技术：3D相干扫描干涉法，抗震算法，移相干涉法  

光源：固态白光光源，软件控制切换光谱（VSI和PSI）  

扫描装置：精密压电陶瓷驱动，闭环反馈电容控制精密压电陶瓷  

像素分辨率：1280x1024  

视场：10倍范围1200x950  

纵向扫描范围：25mm  

横向分辨率：0.05-2.68µm  

轴向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm  

台阶高度精度（示值误差）±0.1nm（5µm标准台阶）  

台阶高度重复性：0.1％1σ（5µm标准台阶  

粗糙度RMS2  

粗糙度RMS重复性:0.01nm  

被测样品反射率：0.05%-100%  

Z轴：电动Z平台100mm，1μm分辨率）  

位移台：电控平台移动范围XY:100x100mm

北京品智创思精密仪器有限公司(以下简称品智创思)，始终专注于精密影像测量领域的影像分析及测量软件的设计与研发。品智创思公司从事表面科学、分析仪器、计量检测设备及实验室仪器系统集成商;致力于为工业制造和科研领域用户提供显微分析，图像分析，缺陷识别和检验, 无损探查, 品质管理, 计量，过程控制等专业检测设备，依托强有力的技术资源及完善专业的售后服务与维修体系，向用户提供专业成熟细致的服务及全面地解决方案。    

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