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形貌仪（如三维形貌仪）是一种用于材料科学、机械工程等领域的高精度分析仪器，基于光学干涉原理进行测量。光源发出的光经过扩束准直后，经分光棱镜分成两束，一束经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射，两束反射光汇聚并发生干涉。显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
形貌仪的功能特点：
非接触测量：对样品本身没有损伤，适用于各种材料表面的测量。
高精度测量：可实现纳米级的分辨率测量，能够准确反映样品表面的微观形貌。
测量范围广：测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌、台阶高度等。
多功能分析：可对样品表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
数据处理能力强：配备专业的分析软件，可对测量数据进行处理和分析，生成直观的测量报告。
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