压电六轴并联

　　Free6D.3-2.150.G2，压电六轴并联位移台，六自由度，兼容高真空；控制方式：各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专用软件，实现对六轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现六轴空间姿态的同时调节。
压电·六轴并联 Free6D.3-2.150.G2
多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高
由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构，有效降低累积误差；
多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高；
平动行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；
角摆行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；
z小步伐：0.1 μm/5 μrad；
可提供真空环境规格；
控制器：根据用户输的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节
控制方式：各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专用软件，实现对六轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现六轴空间姿态的同时调节；
控制软件：提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制
压电六轴并联
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