原子层沉积

SENTECHALD原子层沉积设备的优势  
用于敏感衬底的PEALD  
真远程等离子体源能够在低温<100°C下高均匀度和高保形性地覆盖敏感衬底和膜层，在样品表面提供高通量的反应性气体，而不受紫外线辐射或离子轰击。  
用于工艺研发和改善的实时监测  
ALD实时监视仪RTM的原位诊断实现了单一ALD循环的超高分辨率。优点是确认ALD范围，减少处理时间和总生产成本。采用椭偏光谱、QCM和QMS进行原位诊断，也是我们的优点。  
简易的腔体清洗  
定期反应腔体清洗对于稳定和可重复的原子层沉积工艺是的。借助于用于清洗原子层沉积系统的升降装置，可以容易地打开反应腔体。  
集成手套箱  
SENTECH原子层沉积设备各种供应商的手套箱兼容。  
多腔集成  
可作为SENTECH多腔系统的一个模块。我们的可以与SENTECHPECVD和蚀刻设备结合用于工业应用。可选的多腔系统也具备片盒到片盒装片的特点。  
SENTECH实现了热ALD和等离子体增强ALD操作。ALD设备可以配置为用于氧化物、氮化物和金属沉积。三维结构具有出色的均匀性和保行性。利用ALD、PECVD和ICPECVD，SENTECH提供等离子体沉积技术，用于从纳米尺度沉积到数微米的薄膜沉积。  
SENTECHALD设备实现了热ALD和等离子体增强ALD膜交替沉积多层结构。热ALD和等离子体增强ALD可在同一个反应腔体中用快门来切换。  
SENTECH提供了前沿的快速原位监测技术，实时监测和广泛范围的光谱椭偏仪可逐层监测薄膜生长。
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