该款石英真空等离子清洗机具备先进的石英腔体设计,具有优良的密封性能,有效防止气体泄漏,提升设备安全性。其13.56MHz射频等离子发生器能够产生高密度的等离子体,这种高密度等离子体可以深入产品表面的微小结构,从而确保出众的清洗和处理效果。此外,这种高效的等离子体处理还有助于提升小型产品在实验测试中的表现,满足科研和工业领域对高精度和高纯度表面处理的严苛要求。
石英真空等离子清洗机本机不仅在性能上表现还在成本控制上具有明显优势。它允许用户在合适的预算内完成高质量的表面处理任务,实现成本效益的增长。配备的可视化触摸屏使操作更为直观,过程参数的实时监控功能让用户可以即时调整和优化操作设置,确保处理效果始终符合预期。
此外,该设备支持多种工艺气体,包括氩气、氧气、氢气、氦气和各种氟化气体,适应不同的处理需求和工艺条件。高精度的气体流量监测系统配合双路工艺气体配置(氩气和氧气),实现了双路气流的精确控制,用户可以根据需要调整气体比例,以达到z佳的处理效果。这种灵活的工艺气体使用方式,配合精准的流量控制,进一步提高了设备的适用性和处理品质,是科研和工业领域理想的表面处理解决方案。
①可视化触摸屏,过程参数实时监控。
②支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体。
③高精度气体流量监测系统,两路工艺气体配置(氩气、氧气),双路气流控制,比例可调。
石英真空等离子清洗机
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