MKS真空计

美国MKS真空计（Vacuum Gauge），c真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
按照美国MKS真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的美国MKS真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的美国MKS真空计。
美国MKS流量计型号及功能原理介绍，美国MKS流量计利用力学性能的美国MKS真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型美国MKS真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型美国MKS真空计有热阴j电离规和冷阴j电离规。

美国MKS流量计在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电j之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。

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