气体流量混合器

　　Plasmaflo气体流量混合器是可选配件
可用于任何与等离子清洗机模型结合，有利于气体混合，气体的流量和真空压力监测更精确的定量控制。
PlasmaFlo 气体流量混合器特征：
（PDC-FMG (115V); PDC-FMG-2 (230V)）
两种工艺气体比例混合控制流量，也可独立控制两种工艺气体的流量的双过程流量计
常压下zui大49mL/min 的流量
精度± 2%
热电偶真空计，数值显示（范围1 to 1999 mTorr）
重量：7 lbs
尺寸：8.5" H x 10" W x 8" D
* zui大流量随工艺气体和调节压力变化。流量计可用于常见的工艺气体（空气，氩气，氮气，氧气）。
气体流量混合器其他工艺气体请咨询 German First-Nano System （HK）Limited
气体流量混合器
http://www.first-nano.com/SonList-1417800.html
https://www.chem17.com/st326752/product_26067365.html