离子溅射仪

　　离子溅射仪
技术方案
1、采用平面磁控溅射靶头进行靶材溅射，以确保工作过程样品不会发生热损伤；
2、采用ARM作为处理器，全自主知识产权，扩展性好，可选配：
（1）膜厚监控组件：可预设期望镀膜厚度，在工作过程中精确控制镀膜厚度；
（2）样品台加热组件：可通过加热提高膜层的致密性以及与基地的结合力。
3、7英寸触摸式液晶显示屏，分辨率为800×480，全数字显示。
3.1）可设定：
（1）溅射电流；
（2）溅射时间；
（3）靶材种类；
（4）工作真空度；
（5）工作气体；
（6）屏幕亮度等参数；
3.2）可显示：
（1）溅射电流；
（2）溅射剩余时间；
（3）工作真空度；
（4）靶材累计使用时间；
（5）设备累计使用时间等参数。
4、溅射电流：2-100mA连续可调，z小步长为1mA；
5、溅射时长：1-999s连续可调，z小步长为1s;
6.溅射真空：4-20Pa连续可调，z小步长为0.1Pa;
7、溅射靶材：标配为高纯铂靶（纯度4N9），规格为φ57×0.12mm；也可使用金、银、铜、金钯合金等金属作为溅射靶材；
8、真空室：采用高透光性的高硅硼玻璃，尺寸约为φ200×130mm；
9、样品台：可自转的不锈钢样品台，直径为φ125mm，转速4-20rpm可调；
10、靶材参数：系统提供金、铂、银、铜对于空气和氩气的工作参数，可直接使用。同时提供4种自定义靶材，用户可根据自己需求设定工作参数；
11、预溅射：具有全自动控制的预溅射挡板，确保工作过程稳定可靠；
12、一键操作：系统可自动完成抽气、充气、参数调整、预溅射、溅射镀膜等工作过程；溅射完成后，关闭真空泵，系统自动充气使真空室内外压力平衡；
13、具备溅射电流和真空度双重互锁，安全可靠，任一条件触发，系统即可停止工作，防止因为误操作导致设备损坏；
14、系统采用皮拉尼真空规作为真空测量元件；
15、j限真空优于1Pa，真空泵抽速为1.1L/s；
16、具备实时曲线显示溅射电流和真空度功能非常方便用户了解系统工作状态；
17、采用独特的靶材更换结构，无需任何工具，即可实现快速更换靶材；
18、仪器供电：AC220±10%V，额定功率500W、
https://www.chem17.com/st506164/product_38092308.html
http://www.gevee-tech.com.cn/product/424.html