3HORIBA质量流量计

编号

项目

S48 28/HMT

1

流量规格

 (100,150,200)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

5%～

6

流量测量范围

0～

7

响应时间

2s（T98，设定值的±2% F.S.）

8

工作环境温度

5℃～50℃

9

精度保证温度

15℃～35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

线精度

±0.5%F.S.

12

重复

±0.2%F.S.

13

工作压差

（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa

14

耐压

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa?m3/s （He）

16

接触气体材料

316L,PTFE,Viton氟橡胶

17

管路接头

Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″