英福康复合真空计的优点好处

　　英福康复合真空计多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择BPG400单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。
英福康复合真空计的优点好处
从5x10-10mbar至大气气压（3.8x10-10Torr至大气气压）的j其宽泛的测量范围
在10-8...10-2mbar5%工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝j过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
符合RoHS标准
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
英福康复合真空计的典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
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