微孔机(Micro-hole drilling machine)是一种用于加工微小孔洞的精密设备。以下是微孔机的发展历程:
1.早期阶段:20世纪60年代起,微孔机开始出现在工业领域。z初采用的是传统的机械钻床和铣床,在经过改进和调整后,用于加工小型孔洞。
2.激光微孔机:随着激光技术的发展,激光微孔机应运而生。激光微孔机利用激光束对材料进行高能量密度的瞬时加热,通过蒸发、熔化或燃烧的方式实现微小孔洞的加工。这种技术具有非接触式加工、无机械压力和高精度等优点,广泛应用于电子、汽车、航空航天等领域。
3.高速电解微孔机:高速电解微孔机利用电化学腐蚀原理实现微孔加工。通过在电解液中施加电压,使电解液在阳j和工件之间形成电解液气泡,从而在工件表面逐渐形成微孔。高速电解微孔机具有加工速度快、表面质量好等优点,广泛应用于微机械技术、生物医学和光学器件等领域。
4.微细EDM(Electric Discharge Machining):微细EDM是一种基于电火花放电原理的微孔加工技术。它利用电火花在工件表面产生瞬时高温和高压,从而使工件表面材料溶解、蒸发或冷却后固化,形成微小孔洞。微细EDM适用于加工高精度、高表面质量和复杂形状的微孔,广泛应用于微机械、超精密模具和光纤等领域。
5.激光电解微孔机:激光电解微孔机结合了激光技术和电解加工技术。它通过激光在电解液中对工件进行定向照射,结合电解作用实现微小孔洞的加工。这种技术能够加工各种材料,并具有高加工速度、高精度和低表面粗糙度等优点,被广泛应用于微电子、生物医学和微系统等领域。
随着科学技术的不断进步,微孔机将继续发展,以满足对微小孔洞加工精度、速度和材料适应性的不断需求。
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