高分辨原位自封闭反应系统性能优势:
*皮米级分辨率
a.超薄液夹层(80-200nm)
b.超薄氮化硅窗口(10-50nm)
c.气体环境可实现皮米级分辨,液体环境可实现
*埃米级分辨
稳定性好
a.样品槽与芯片匹配良好,芯片不漂移.
b.惰性氮化硅,不与反应液发生反应
*密封性好
a.采用键合内封以及环氧树脂外封双保险可适应
电镜超高真空
系统组成:
a.原位自封闭样品台
b.芯片环境制样舱
c.原位自封闭芯片(10盒,标配25nm)
d.附件包
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