硅烷分析氦离子化气相色谱仪

硅烷是重要的新材料产品，广泛应用于LCD平板显示、半导体、太阳能等行业，随着中国半导体等行业的发展，国内对硅烷的需求与日俱增，但是由于国内硅烷生产的技术处于起步阶段，如何对硅烷的纯度进行分析是各个生产厂商需要面临的一个课题

高纯气体的分析是一个复杂的过程，也是色谱分析的难点之一;硅烷由于其物理性质的特殊性，其分析的难度可谓难上加难，不仅需要高灵敏的检测器，还要解决硅烷遇氧燃烧的问题。GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪克服了硅烷分析过程中的众多技术难点，采用高灵敏度的氦离子化检测器，配备的硅烷取样系统，很好的完成了硅烷中痕量的ppb级杂质的分析。

适用的标准：

GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》

GC-9560-HG硅烷分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司*的中心切割技术，所配备的进样阀均为带有吹扫保护气路的进口阀;整机采用多柱箱设计，不同色谱柱可单独控温，大限度地优化了分离条件，并且方便对不同色谱柱分别进行老化处理，方便仪器的维护;仪器配备进样压力自动校正系统，克服了不同底气因分子量不同而造成的进样量不*多导致的分析误差。

GC-9560-HG硅烷分析氦离子化气相色谱仪的性能优势：

气体工业是国民经济的基础行业，是工业生产的“血液”，随着国民经济的快速发展，对高纯气体和电子工业用气体的需求量也快速增长。痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节，而痕量杂质的分析一直是色谱分析的难点，传统的热导等色谱检测器均无法胜任高纯的气体分析。

脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)是一种灵敏度的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，是*能够检测至ng/g(ppb)级的检测器。新制定的国家标准中规定，采用氦离子化检测器替换原有的热导等检测器，华爱色谱承担主要起草任务的国家标准《气体分析 氦离子化气相色谱法》也正在制定之中，不久将正式公布实施。

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