UV 400 测温仪

UV 400 测温仪详细说明

UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射计(2001年)的高温计，为使用光纤镜头和950 nm激光实时测量发射率建立了行业标准。蓝宝石光管传感器和实时的黑体校准源取得的研究进展提供了完整的温度测量解决方案。

UV 400和UVR 400系统是专门为GaN基MOCVD外延工艺开发的下一代温度传感器。这些传感器可以直接测量晶圆表面温度，而非传统的基座温度。UVR 400较UV 400 增加了一个635 nm，0.5 kHz测量速度的反射率测量仪，可测量沉积厚度.

这些系统正在为 LED 生产过程设定一个新的标准，其结果显示工艺温度和终产品波长之间存在可靠的相关性.这种直接测量的方法可以更精确地控制晶片温度，从而提高成品率

主要特点

使用紫外波段直接测量GaN层温度;

使用脉冲光源实时快速测量发射率;

使用真正的光计数仪器将测量中的噪声降至低;

防止由于延迟采样(无快门打开和关闭)而造成的数据偏差

测温范围：650 至 1300℃

重复精度 0.01 °C (see TN-828)

更多详情请前往：

https://www.chem17.com/st433306/list_2123764.html

http://www.irtech.cn/ParentList-2123764.html