吸气剂复合型离子泵

安捷伦 Agilent CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵

Agilent CombiNEG 40-400 在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸气剂泵芯。吸气剂泵可为活性气体提供超高抽速（高达 400 L/s 氢气），而三j离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速。经优化的磁场和真空烧制工艺进一步提高了性能，可很大程度减少低压下的气体逸出。内部防护罩可延长 NEG 的使用寿命。

这是一款可处理大量惰性气体的泵，能够以z高抽速和z大容量处理甲烷、氩气和氦气。这款泵非常适合需要在超高和真空状态下达到抽速的高要求应用。

吸气剂复合型离子泵产品特性

三j离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到超高真空状态所需的时间

烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更出色的解决方案，并消除粉末进入系统的风险

配备 ConFlat 4.5 英寸非旋转型法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 2.75 英寸法兰

可以选择不同方向的真空穿导件，实现z大灵活性

无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行

低漏电流可提供稳定的真空压力读数

低磁场可很大程度减少系统干扰

在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性

 
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