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产品描述
PKVL150-080U为超薄型大孔径利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命。
PKVL150-080U扫描台可提供z佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。
低外形设计用于实现设备间的简易集成。并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度。
通孔尺寸为100x100mm可与显微镜电动平台组合实现更长行程，进行紧密操作。压电扫描台的移动面可安装光学镜面，进行移相计量干涉操作。
PKVL150-080U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—Z位移：80μm（闭环）
—中孔尺寸：100x100mm
—z大承载能力：1Kg
—紧凑型设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择θxθy轴版本
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵
